Ukrainian
Summary:Монографія присвячена області сучасної наноелектроніки, що швидко розвивається, а більш конкретно, фізиці і технології наноелектроних приладів виготовлених на системах Напівпровідник-На-Ізоляторі (ННІ). В книзі ми хотіли показати, як дуже різні технології і підходи об’єднуються в єдиній системі – системі Напівпровідник-На-Ізоляторі, що дозволяє запропонувати повністю нові принципи і нові прилади. Книга, що пропонується читачеві, поділена на чотири головні частини: 1. Нові матеріали типу ННІ; 2. Фізика сучасних ННІ приладів; 3. Характеризація сучасних ННІ приладів; 4. Сенсори і МЕМСи на базі ННІ систем.
Reading audience:Запропонована книга буде корисна не тільки спеціалістам у нано- та мікроелектроніці, але й студентам і широкому колу читачів, які цікавляться новими напрямами у сучасній електроніці і оптоелектроніці.
English
Summary:The book is devoted to fast evolving field of modern nanoelectronics, and more particular to the physics and technology of nanoelectronic devices built on semiconductor-on-insulator (SemOI) systems. In this book we would like to show how very different technologies and approaches are associated on the same system – Semiconductor-On-Insulator System, that allows to suggest absolutely new principles and type of the devices. The proposed book is articulated around four main topics: 1. New semiconductor-on-insulator materials; 2. Physics of modern SemOI devices; 3. Advanced characterization of SemOI devices; 4. Sensors and MEMS on SOI.
Reading audience:This book will be useful not only to specialists in nano- and microelectronics but also to students and to the wider audience of readers who are interested by new directions in modern electronics and optoelectronics.