Назва НТП: | Отримано основи технології осадження плівок нанокристалічного карбіду кремнію для виробництва високостабільних сенсорів температури на їх основі |
Вид продукції: | Випуск нового виду продукції: технологіїCенсори мають високу стабільність в діапазоні вимірювання. Вони малоінерційні та радіаційно стійки, мають достатньо великий температурний коефіцієнт зміни опору α =0,065 1/° С. Mікрочіпи з вмонтованими сенсорами температури . Високостабільні мініатюрні сенсори температури на основі нанокристалічної плівки 3С-SiC для вимірювання температур в діапазоні 4 ÷900° К, мають планарну конструкцію. |
Опис НТП: | Чутливим елементом сенсору температури є шар наноструктурованого карбіду кремнію на сапфіровій підкладці. Нанокристалічний SiC мав переважну структуру 3С. Питомий опір плівки становив 100000 Ом×см. Конфігурація сенсору є планарною. В конструкції сенсора використовується високостабільна контактна система SiC-Ni-TiB2-Au |
Технічні переваги: | Вперше розроблені високостабільні сенсори на основі нанокристалічної плівки SiC з керованими питомим опором і високою термочутливістю для вимірювання в діапазоні температур 4 – 900 К в магнітних полях до 14 Тл. Похибка вимірювання температури не перевищує 10% в магнітному полі 14 Тл, що є на рівні кращих зразків кріогенних термометрів опору, існуючих в даний час. |
Економічні переваги: | Створення сенсорів на основі нанокристалічного карбіду кремнію дозволить створити новий клас вітчизняної високонадійної конкурентоспроможної елементної бази електроніки для енергетики, авіа та автобудування, військового приборобудовання. |
Вплив на зовнішнє середовище. Екологічність: | Не впливає на зовнішне становище. Производство екологічно |
Стадія завершеності НТП: | IншеЗвіт по НДР, конструкторська та технологічна документація, Експеріментальні (макетні) зразки. |
Упровадження НТП: | не впроваджено |
Права інтелектуальної власності: | Отримано патент |
Форми та умови передачі продукції: | Інвестиції |