Напрям 3. Діагностика наноструктур
Мета:створення теоретичних і експериментальних основ та апаратурної реалізації методу рентгено-ультраакустичної інтегральної динамічної дифрактометрії характеристик одночасно багатьох типів дефектів у напівпровідникових кристалічних наносистемах
Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: методів, теорій
Етап 1:Створення теоретичної моделі рентгено-ультразвукової інтегральної динамічної дифрактометрії у геометрії дифракції Лауе в умовах аномально великого внеску дифузного розсіяння, що забезпечує кількісний характер багатопараметричної діагностики
Етап 2:Створення експериментальних основ рентгено-ультразвукової інтегральної динамічної дифрактометрії з урахуванням впливу дифузної складової у геометрії дифракції Лауе в тонких кристалах, що забезпечує кількісний характер багатопараметричної діагностики, та його практична реалізація в ІМФ та ІФН НАН України
Етап 3:Створення теоретичної моделі рентгено-ультразвукової динамічної інтегральної дифрактометрії у геометрії дифракції Лауе в умовах аномального проходження бреггівських та дифузних рентгенівських хвиль
Етап 4:Створення експериментальних основ методу рентгено-ультразвукової інтегральної динамічної дифрактометрії у геометрії дифракції Лауе в товстих кристалах та його практична реалізація в ІМФ та ІФН НАН України
Етап 5:Створення лабораторії рентгено-ультразвукової дифрактометрії для проведення технічних операцій, що полягають у визначенні характеристик структури наноматеріалів або приладів на їх основі