Публікації, в яких представлені результати проекту |
086 Магнетронне напилення структурованних наноплівок TiO2. |
Автори: | А.М.Добровольский, О.А.Гончаров, Є.Г.Костін, О.К.Фролова | |
Реферат: | Досліджено вплив тиску робочих газів та температури підкладки на наноструктуру осаджованних шарів. | |
Ключові слова: | магнетрон, наноплівка, структуровані плівкі | |
Видання: | ISSN, ВАНТ №4, (8) | | | 2013,
311-314, |
086 Отримання нанорозмірних плівок анатазу напиленням циліндричним магнетроном. |
Автори: | О.Гончаров, А.Добровольский, Є.Костіи, І.Петрік, О.Фролова | |
Реферат: | Визначено умови осадження шарів,що мають високу каталітичну активність. | |
Ключові слова: | анатаз, магнетрон, наноструктура | |
Видання: | Ортичні та фотокатолитичні властивості. | | | 2013,
9-12, |
086 Оптичні, структурні та фотокатолітичні властивості нанорозмірних плівок TiO2, отриманих в плазмі магнетронного розряду. |
Автори: | О.А.Гончаров, А.М.Добровольский, Є.Г.Костін, І.С.Петрік, О.К.Фролова | |
Реферат: | Вперше визначено набір єлектрофізичних та газодинамичних параметрів газового разряду у магнетроні постійного струму,що дозволяє здийснювати неруйнуючий контроль осадження шарів TiO2 в реальному масштабі часу. | |
Ключові слова: | фотокаталіз, структура, нанорозмір. плівкі | |
Видання: | ЖТФ | | | 2014,
98-106, |
086 Структура та фотокаталітичні властивості наноплівок TiO2 отриманих методом реактивного магнітронного напилення. |
Автори: | О.А.Гончаров, А.М.Добровольский, Є.Г.Костін, І.С.Петрік, О.К.Фролова | |
Реферат: | Визначено реактивне осадження наношарів TiO2 в ціліндричному газовому магнітроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спектроскопії, атомно-силової микроскопії. Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на їх структуру,морфологію та фотокаталітичні властивости. | |
Ключові слова: | фотокаталіз, наноплівка, магнетрон | |
Видання: | МФ і НТ (Металлофізика і нова технологія) | | | 2014,
613-632, |
Конференції, семінари, читання, на яких представлені результати проекту |
|
086 Виконавець:Інститут фізики, Відділення фізики і астрономії, Секція фізико-технічних і математичних наук 3.3. Іонно-плазмові нанотехнології Мета:Cтворення науково-технологічної бази розробки високоефективних іонно-плазмових пристроїв нового покоління для синтезу нанорозмірних плівок металів та їх хімічних сполук. Зокрема, забезпечення високопрецезійного керування в процесі синтезу функціональними властивостями таких покриттів та одержання нанопористих і наноструктурованих плівок. Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: технології Етап 1:Модернізація та вдосконалення експериментального вакуумного лабораторного стенду та циліндричного плазмового пристрою до завдань проекту. Розробка дизайну нових систем напуску газу. Етап 2:Створення та відпрацювання систем керованої подачі робочих газів. Відпрацювання процесу отримання наношарів за покажчиками системи оптичного моніторингу параметрів хімічно активної плазми циліндричного плазмооптичного розряду магнетронного типу в реальному часі та з залученням сучасних обчислювальних методів. Етап 3:Відпрацювання процесу отримання наношарів з заданими властивостями з залученням автоматизованої системи подачі робочих газів та модернізованого оптичного моніторингу. Моделювання хімічно активної плазми циліндричного плазмооптичного розряду магнетронного типу. Детальне вивчення плазмодинамічних , електро-фізичних та оптичних характеристик хімічно активної плазми циліндричного плазмооптичного розряду магнетронного типу. Етап 4:Синтез наношарів з заданими властивостями за допомогою макета системи автоматичного керування процесом та плазмодинамічного пристрою. Характеризація отриманих покриттів. Етап 5:Синтез наношарів з заданими властивостями за допомогою макета системи автоматичного керування процесом та плазмодинамічного пристрою. Характеризація отриманих покриттів. Напрацювання рекомендацій щодо розробки та створення іонно-плазмових пристроїв нового покоління для керованого синтезу наноплівок металів та їхніх бінарних сполук із заданими функціональними властивостями.
|