2.3. Хімія та фізика поверхневих явищ. Супрамолекулярні структури
Мета:Розробити технологію отримання економічних каталітично активних наноструктурованих композитів на основі малорозмірних кластерів перехідних металів, вбудованих в пористу напівпровідникову матрицю.
Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: техніки
Етап 1:технології формування нанопористого кремнію - методами електрохімічного та плазмохімічного травлення монокристалічної підкладки Si p-типу з орієнтацією поверхні (100). Дослідження морфології поверхні методами РЕМ та АСМ та хімічний склад методами ІЧ спектроскопії та ВІМС
Етап 2:Розробка технології отримання каталітично активних наноструктурованих композитів на основі малорозмірних кластерів перехідних металів, вбудованих в пористу напівпровідникову матрицю. Дослідження мікроструктури поверхні композитів методами РЕМ та АСМ та розподілу кластерів металів по пористій матриці методом ОЖЕ спектроскопії
Етап 3:Дослідження мікрокристалічної структури каталітично активних композитів на основі нанопористої матриці кремнію з вбудованими кластерами перехідних металів та їх оксидів та розмірів і розподілу кластерів Me/MeOx
Етап 4:Дослідження впливу адсорбції водневмістких молекул газів (H2, H2S) на електро-фізичні параметри та характеристики напівпровідникових структур з шарами наноструктурованих композитів на основі нанопористої матриці кремнію з вбудованими кластерами перехідних металів та їх оксидів.
Етап 5:Розробка та виготовлення чутливого елементу до газів (H2, H2S) на основі каталітично активних наноструктурованих композитів на основі малорозмірних кластерів перехідних металів та їх оксидів, вбудованих в пористу напівпровідникову матрицю