Назва НТП: | Надчутливі методи діагностики напівпровідникових наносистем |
Вид продукції: | Випуск нового виду продукції: методів, теорій |
Опис НТП: | Теоретичні і експериментальні основи та апаратурна реалізація методу рентгено-ультраакустичної інтегральної динамічної дифрактометрії характеристик одночасно багатьох типів дефектів у напівпровідникових кристалічних наносистемах |
Технічні переваги: | Дозволяють внести корективи в технологічні процеси отримання напівпровідникових наносистем, оптимізувати їх параметри та провести сертифікацію структур та приладів |
Економічні переваги: | Аналогів і конкурентів в Україні немає. Можливість проведення високоточних вимірювань без поїздок за кордон. |
Вплив на зовнішнє середовище. Екологічність: | - |
Стадія завершеності НТП: | Звіт по НДР (ДКР) |
Упровадження НТП: | упроваджено |
Права інтелектуальної власності: | За договорами |
Форми та умови передачі продукції: | Спільні НДР (ДКР) |