Назва НТП: | Надчутливі високороздільні методи діагностики напівпровідникових наносистем |
Вид продукції: | Випуск нового виду продукції: методів, теорій |
Опис НТП: | Вказані методи забезпечать всі можливості багатопараметричної діагностики та сертифікації, зокрема, монокристалічних матеріалів, а також параметрів надструктури ма-теріалів, що створюється нано-технологіями та забезпечує їх унікальні властивості. |
Технічні переваги: | Методи дозволять прогнозованим чином контролювати зміни параметрів наноструктур, придатних для виготовлення приладів. |
Економічні переваги: | Отримання багатьох структурних характеристик в одному циклі з високою точністю, без необхідності виїзду за кордон.
|
Вплив на зовнішнє середовище. Екологічність: | Немає впливу. |
Стадія завершеності НТП: | Звіт по НДР (ДКР)- |
Упровадження НТП: | упроваджено |
Права інтелектуальної власності: | За договорами- |
Форми та умови передачі продукції: | Спільні НДР (ДКР)- |