Напрям 3. Діагностика наноструктур
Мета:розробка методик для мас-спектроскопічного аналізу наноматеріалів та структур для наноелектроніки
Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: методів, теорій
Етап 1:Виготовлення тестових зразків методом іонної імплантації для калібровки мас-спектрометра
Етап 2:Розробка методики пошарового домішкового аналізу структур з плівками нанометрових товщин
Етап 3:Розробка методики домішкового аналізу діелектричних матриць
Етап 4:Розробка методів аналізу нанорозмірних структур з використанням позитивних та негативних іонів
Етап 5:Визначення експериментальних похибок, розробка рекомендацій по оптимізації і автоматизації вимірювань для зразків різних типів