Напрям 3. Діагностика наноструктур
Мета:розробка і розвиток альтернативних малозатратних методів нанолітографії та наноманіпуляцій для потреб новітніх технологій виготовлення наноелектронних, молекулярних, гібридних та наномеханічних приладів і сенсорних систем на основі методів скануючої зондової літографії
Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: методів, теорій
Етап 1:Моделювання процесів механічної та електрохімічної літографії; оптимізація параметрів нанесення наночастинок металів для подальших наноманіпуляцій
Етап 2:Механічна нанозондова літографія
Етап 3:Формування поверхневих наноструктур методом АСМ наноманіпуляцій
Етап 4:Розроблення методу окислювальної електрохімічної нанолітографії: комп'ютерне моделювання та практична реалізація
Етап 5:Формування прототипів наноелектронних приладів методами нанолітографії і номаніпуляцій та їх характеризація