Напрям 3. Діагностика наноструктур
Мета:Розробка методик оптичної діагностики і просторового топографування електронних, структурних і коливних параметрів напівпровідникових наносистем для потреб фізики, опто- і наноелектроніки та матеріалознавства на основі неруйнівної скануючої конфокальної Раманівської і люмінесцентної спектроскопії з субмікронною локальною роздільною здатністю
Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: методів, теорій
Етап 1:Розробка методів конфокальної мікро-Раманівської спектроскопії і електронно-дифракційної мікроскопії для просторового топографування структурної досконалості і деформацій в мікро- і наноструктурах на основі матеріалів IV групи
Етап 2:Розробка оптичних та електронно-дифракційних методів субмікронного топографування електрофізичних і структурних параметрів, деформацій і хімічного складу у наноструктрах електроніки на основі легованих широкозонних мікрокристалічних матеріалів і нановуглецевих сполук
Етап 3:Просторове субмікронне картографування структури, деформацій, електронних і коливних властивостей, хімічного складу, температури елементів наноелектроніки на основі Si, А2В6, А3В5, вуглецевих наноструктур методами скануючої оптичної конфокальної Раманівської і люмінесцентної мікроспектроскопії
Етап 4:Розробка комплексу методів скануючої оптичної субмікронної діагностики та аналізу просторових карт розподілу температури і термодеформацій в напівпровідникових гетероструктурах та дослідження процесів локальної температурної деградації експлуатаційних параметрів елементів опто- і наноелектроніки
Етап 5:Розробка комплексу неруйнівних оптичних методів нанодіагностики просторового розподілу фізичних параметрів напівпровідникових наноструктурованих елементів приладів мікро- і наноелектроніки та дослідження динаміки їх зміни за суттєво нерівноважних умовах експлуатації