Напрям 2. Технології напівпровідникових наноструктур
Мета:розробка технології виготовлення нанорозмірних германієвих структур на підкладках Si
Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: технології
Етап 1:Розробка технології нарощування нанорозмірних плівок германію
Етап 2:Розробка технології виготовлення нанорозмірних германієвих структур на підкладках GaAs
Етап 3:Розробка технології виготовлення нанорозмірних германієвих структур на підкладках Si
Етап 4:Розробка конструкції приладів
Етап 5:Випробування експериментальних зразків приладів