Напрям 1. Фізика наноструктур
Мета:Дослідження фізичних процесів, що протікають при формуванні кремнієвих нанодротин, електронної польової емісії з Si нанодротин на плоскій поверхні та в порах діелектричної матриці, створення емісійних резонансно-тунельних структур та дослідження фізичних процесів при електронній емісії в вакуум для виготовлення приладів емісійної наноелектроніки з вузьким енергетичним розподілом електронів
Очікувані результати:Випуск нового виду продукції: технології
Етап 1:Розробка технологічних основ створення регулярних анасамблів нанодротин кремнію. Моделювання фізичних процесів при рості НД Si та електронній польовій емісії з них
Етап 2:Дослідження структурних, розмірних та емісійних властивостей ансамблів нанодротин кремнію для створення автоемісійних катодів з пониженою роботою виходу
Етап 3:Розробка технологій та дослідження фізичних процесів при формуванні нанопористих діелектричних матриць Al2O3 та рості НД Si в них
Етап 4:Розробка емісійних резонансно-тунельних структур на основі НД Si покритих нанокомпозитною плівкою SiO2(Si)
Етап 5:Дослідження особливостей електронної польової емісії з резонансно-тунельних структур на основі НД Si покритих нанокомпозитною плівкою SiO2(Si). Рекомендації щодо використання НД Si та структур на їх основі в приладах емісійної наноелектроніки